Typen 432.10, 432.15

Mini-Plattenfedermanometer

UHP, Nenngrößen 1" und 1,3"

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Anwendungen

  • Für gasförmige und flüssige, auch aggressive Messstoffe bei höchsten Anforderungen an Reinheit, auch in aggressiver Umgebung
  • Halbleiter- und Flat-Panel-Industrie
  • Gasverteilungssysteme
  • Medizinische Gase
  • Hook-up-Applikation

Leistungsmerkmale

  • Mechanisches Druckmessgerät mit Plattenfeder
  • Kompaktes Design für minimales Totraumvolumen und zur Reduzierung der Bildung und Ansammlung von Partikeln
  • Dichtheitsgeprüft mit Helium, Leckrate ≤ 10-9 mbar · l/s
  • Elektropolierte messstoffberührte Teile, Oberflächen mit Ra < 0,25 μm (Ra < 10 μin) für Plattenfeder und Messkammer
  • Prozessanschlussteile aus elektropoliertem 316L mit Metalldichtscheiben, orbital an Messkammer geschweißt

Beschreibung

Das Mini-Plattenfedermanometer wurde für UHP (Ultra High Purity)-Anwendungen mit beschränktem Platzbedarf entwickelt, wie zum Beispiel kleinere Gas-Stick- und Gas-Box-Zusammenbauten.

Die Nenngrößen 1" und 1,3" sind ideal geeignet für Anwendungen mit gasförmigen, flüssigen und korrosiven Messstoffen bis 160 psi.

Das Mini-Plattenfedermanometer ist dichtheitsgeprüft mit Helium und die Innenteile sind elektropoliert, um Reinheitsstandards optimal zu erfüllen.

Durch diese UHP-Eigenschaften ist das Mini-Plattenfedermanometer für die Halbleiter- und Flat-Panel-Industrie, verschiedene Gasverteilungssysteme und Anwendungen mit medizinischen Gasen geeignet.

Das Mini-Plattenfedermanometer entspricht den SEMATECH- und SEMI-Normen, um die für Ihre Anwendungen erforderliche Qualität optimal sicherzustellen.

Typ 432.15, Nenngröße 1,3"

Typ 432.15, Nenngröße 1,3"

  • Typ 432.15, Nenngröße 1,3"Typ 432.10, Nenngröße 1"
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